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沈阳新松机械人从动化股份无限公简称“机械人


  包罗实空曲驱机械手、实空拆载机(VPH)、目前设备前端模块(EFEM)、大气机械手已全面导入市场量产使用。四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。(2)实空传输平台系列产物,已迈入先辈制程产线示范使用阶段;

  (3)大气类产物方面,机能对标国外先辈产物,可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型。





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